專為微觀尺度材料性質量測設計，適用於材料科學與半導體相關應用。
NanoFlip 納米壓痕儀
NanoFlip
納米壓痕儀
NanoFlip納米壓痕儀可在真空和氣氛條件下，準確、精密地進行硬度、模量、屈服強度、剛度和其它納米力學性能的測試。 無論在掃描電子顯微鏡（SEM）或是聚焦離子束（FIB）系統中，NanoFlip均可出色完成微柱壓縮等測試，並將SEM圖像與力學測試數據同步。 NanoFlip是一款緊湊、靈活的原位納米力學測試儀，其測試速度快，這對於在惰性條件下（例如手套箱中）測試非均質材料至關重要。 基於InForce 50電磁力作動器等多種可用功能選項，可獲取定量結果，為材料研究提供有價值的解決方案。
產品描述
NanoFlip配備高精度的XYZ移動馬達，以定位樣品進行測試，並配備翻轉機構，以定位樣品進行觀察成像。 InView軟體標配一套包括多種測試協議的測試方法，且支援用戶創建自己獨特的測試方法。 InForce 50作動器在真空和氣氛條件下表現同樣出色。 InView 軟體可以記錄SEM或其它顯微鏡圖像，並與力學測試數據同步。 革命性的FIB-to-Test技術容許將樣品傾斜90°，實現從FIB到壓痕測試的無縫轉換，而無需重新安裝樣品。
產品特色
l InForce 50作動器採用電容式位移感測和電磁力驅動，且壓頭易於更換
l InQuest高速控制器電路，數據採集速率可達100kHz，時間常數最快為20μs
l XYZ運動系統實現樣品定位
l SEM視頻採集實現SEM圖像和力學測試數據同步
l 獨特的壓頭校準系統，集成在軟體中，可實現快速、準確的壓頭校準
l InView設備控制和數據處理軟體，與Windows®10相容，可選測試方法開發工具，實現使用者自定義實驗
l 產品應用
l 硬度和模量測試（基於Oliver-Pharr模型）
l 連續剛度測量
l 快速材料力學性能成像
l ISO 14577硬度測試
l 納米動態力學分析（DMA）
l 定量劃痕和磨損測試
適用行業
l 大學、科研實驗室和研究所
l 微柱和微球製造
l MEMS：微機電系統
l 材料製造（壓縮/拉伸/斷裂測試）
l 電池和元件製造
iMicro 奈米壓痕儀
iMicro納米壓痕儀可輕鬆測量硬質塗層、薄膜和小尺寸材料等。 其準確、靈活，並且使用者友好，可以提供壓痕、硬度測試、劃痕和納米級萬能試驗等多種納米力學測試。 作動器易於更換，能夠提供大範圍的動態載荷和位移，對於從軟質聚合物到硬質金屬/陶瓷等材料，均可以進行準確而可重複的測試。 模組化的功能選項可以適配各種應用：材料力學特性圖譜、頻率相關特性測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。 iMicro提供一整套的擴展功能選項，包括樣品加熱、連續剛度測量、NanoBlitz3D/4D材料力學性能成像、Gemini 2D作動器用於摩擦學和其它雙軸力學測量。
產品描述
iMicro 奈米壓痕儀標配InForce 1000作動器，用於進行納米壓痕和萬能納米力學試驗，並可選配InForce 50作動器用於測試較軟的材料。 InView 軟體包靈活、現代，讓用戶輕鬆進行納米尺度測試。 iMicro是一款緊湊型測試平臺，其箱體中內置高速InQuest控制器和隔振框架。 各種不同的材料和器件均可以進行測試，包括金屬、陶瓷、複合材料、薄膜、塗層、聚合物、生物材料和凝膠等。
產品特色
l InForce 1000作動器採用電容式位移感測和電磁力驅動，且壓頭易於更換
l InForce 50作動器選件，提供最大50mN的法向力，可用於測量較軟的材料; Gemini 2D作動器選件，可實現兩個方向的動態測量獨特的壓頭校準系統，集成在軟體中，可實現快速、準確的壓頭校準
l InQuest高速控制器電路，數據採集速率可達100kHz，時間常數最快為20μs
l XY運動系統以及易於安裝的磁性樣品台
l 高剛度框架，且集成隔振功能
l 集成顯微鏡，數位變焦，可實現精確的壓痕定位
l 符合ISO 14577等標準的測試方法
l InView軟體包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在線培訓和InView移動應用程式
產品應用
l 硬度和模量測量（基於Oliver-Pharr模型）
l 快速材料力學性能成像
l ISO 14577 硬度測試
l 聚合物損耗因數、儲存模量和損耗模量
l 定量的劃痕和磨損測試
l 高溫納米壓痕測試
適用行業
l 大學、科研實驗室和研究所
l 半導體與封裝產業
l PVD/CVD 硬質塗層（DLC、TiN）
l MEMS：微機電系統/萬能納米力學試驗
l 陶瓷與玻璃
l 金屬與合金
l 製藥
l 塗層 塗料
l 複合材料
l 電池與儲能
l 汽車與航空航太
Nano Indenter® G200X 奈米壓痕儀
Nano Indenter G200X是一種易於使用的納米級力學測試工具，可快速提供精確的定量分析結果。 G200X系統可處理從硬質塗層到軟質聚合物的各種樣品，並提供KLA Instruments納米壓痕儀產品線中最全面的測試套件。
產品說明
Nano Indenter G200X提供了易於使用的納米級力學測試工具，並快速、精確地對結果進行定量分析。 G200X系統配置了我們性能最好的運動系統、最大的樣品裝載系統和高解析度光學顯微鏡。 因為擁有InView軟體、InQuest控制器和InForce作動器，我們的整個壓痕產品線均擁有卓越的性能。 G200X系統選件包括連續剛度測量（CSM）、掃描探針顯微成像、劃痕測試、頻率掃描、電學性能測量、快速壓痕測試和衝擊測試。
主要功能
l 電磁驅動作動器可實現載荷和位移的寬動態範圍控制
l 高解析度光學顯微鏡與精密XYZ移動系統的結合能實現高精度觀察與定位測試樣本。
l 便捷的樣品裝載台與多樣品定位功能實現高通量測試。
l 模組選件遠不止能進行壓痕測試，還可進行SPM成像、劃痕測試、高溫納米壓痕測量、動態壓痕測試（連續剛度測量）和快速壓痕測試等模組化升級選件。
l 直觀的使用者操作介面便於快速進行測試設置; 僅需點擊幾下滑鼠即可完成測試的參數設置。
l 即時高效的實驗控制，簡單易用的測試流程開發和測試設置。
l 全套InView軟體，包括用於分析數據和創建報告的ReviewData和InFocus。
l 備受讚譽的快速納米壓痕測試可用於生成材料力學性能圖像，並提升統計數據的可靠性。
l InQuest高速數位控制器，數據採集速率最高可達100kHz，時間常數最快為20μs。
主要應用
l 快速硬度和模量測量（基於Oliver-Pharr模型）
l 快速材料表面力學特性成像
l ISO 14577硬度測試
l 薄膜及塗層測試
l 介面附著力測量
l 斷裂韌性測量
l 粘彈性測量，包括損耗因數，儲存模量和損耗模量
l 掃描探針顯微成像（3D 成像）
l 定量劃痕和摩擦磨損測試
l 高溫納米壓痕測試
l V測試
行業分佈
l 高校、科研實驗室和研究所
l 半導體與封裝產業
l PVD/CVD硬質塗層（DLC、TiN）
l MEMS：微機電系統/納米級通用測試
l 陶瓷與玻璃
l 金屬與合金
l 製藥
l 塗層與油漆
l 複合材料
l 電池與儲能
l 汽車與航空航太
iNano® 奈米壓痕儀
iNano®奈米壓痕儀使測量薄膜、塗層和小體積材料變得更簡單。 準確、靈活、使用者友好的儀器可以進行多樣的納米材料力學測試，包括壓痕、硬度、劃痕和通用的納米尺度測試。 大範圍的力和位移動態測量範圍允許對從軟聚合物到金屬的材料進行精確和可重複的測試。 模組選項可以適配各種應用：材料性能分布圖、特定頻率的測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。 iNano奈米壓痕儀擁有一整套可擴展的測試選項，包括樣品加熱、連續剛度測量、NanoBlitz 3D/4D性能分布圖和遠端視頻選項。
產品描述
iNano奈米壓痕儀採用了用於執行納米壓痕和通用納米機械測試的InForce 50作動器。 InForce 50的50 mN力和50μm位移範圍允許該系統執行廣泛的測試。 InView 軟體包靈活、現代，讓用戶輕鬆進行納米尺度測試。 iNano是一個緊湊的平台，內置有高速InQuest控制器和隔振機架。 可以測試各種材料和裝置，包括金屬、陶瓷、複合材料、薄膜、塗層、聚合物、生物物質和凝膠。
功能
l InForce 50作動器用於電容位移測量和電磁力驅動，具有可互換的壓頭
l 獨特的軟體集成壓頭校準系統，精確的壓頭校準
l Inquest高速電子控制器，具有100kHz數據採集速率和20μs時間常數
l XY移動系統帶有易於安裝的磁性樣品架
l 具有數位變焦功能的集成顯微鏡，可獲得精確的壓痕定位
l ISO 14577和標準化測試方法
l 包含RunTest、ReviewData、InFocus報告、 InView University 在線培訓和InView移動應用程式的InView軟體包
應用
l 硬度和模量測量（Oliver-Pharr）
l 材料力學性能分布圖
l ISO 14577硬度測試
l 聚合物損耗因數
l 高溫納米壓痕測試
行業
l 大學、研究實驗室和研究所
l 半導體和封裝行業
l 聚合物和塑膠
l MEMS：微機電系統/納米尺度通用測試
l 陶瓷和玻璃
l 金屬和合金
l 藥品
l 塗料和油漆
l 聚合物製造
l 複合材料
l 電池和儲能
T150 UTM 微納拉伸試驗機
T150 UTM 微納拉伸試驗機可以測量對應變速率敏感的材料的時變回應。 它採用電磁作動器產生拉力（樣品上的載荷），並採用高精度的電容感測器測量位移，從而在大範圍的應變下確保高靈敏度。 T150 UTM還可提供動態測量模式，用以研究生物材料的拉伸/壓縮特性，該模式在拉伸/壓縮過程中的每個狀態均可實現樣品剛度等的精確測量。
產品描述
T150 UTM 微納拉伸試驗機使用電磁力作動器為載入單元，可在很大的樣品應變範圍內保持高靈敏度。 連續動態分析 （CDA） 選項可在測試過程中即時對樣品剛度進行直接、精確的測量，從而連續測定樣品在每個應變狀態下的力學性能。 CDA還支持測定樣品不同頻率下的複模量（儲存模量、損耗模量等）。 T150 UTM 微納拉伸試驗機的應用包括：測定軟質纖維和生物材料的屈服強度，纖維和生物材料的動態研究，以及聚合物的拉伸和壓縮測試。
產品特色
l 電磁力作動器，在很大的樣品應變範圍內保持高靈敏度
l 動態測量模式，測量樣品力學性能隨應變狀態的變化
l 靈活、可升級、可配置的儀器系統，適配各種應用
l 易於進行測試協議開發，用於即時測試控制
l 符合 ASTM 標準
產品應用
l 單根聚合物、金屬、複合材料或陶瓷超細纖維
l 電紡聚合物納米纖維
l 聚合物薄膜
l 生物材料（例如蜘蛛絲、軟組織支架）
l 紡織品
l MEMS：微機電系統
適用行業
l 大學、科研實驗室和研究所
l MEMS：微機電系統
l 纖維和紡織品
l 聚合物薄膜
l 生物醫學
l 醫療器械